코리아바큠테크

스퍼터 챔버 (2006년식) 챔버 오링 재고 문의
/ 작성자 / : 전동민 2024-09-19

안녕하세요. 


귀사에서 제작한 진공챔버(KVC 4000 모델과 와형 같고 치수 정합성은 확인 필요)를 사용하고 있으며, 


얼마전 real leak가의심된 현상이 발생하여, 


자체 점검 중입니다. 


다양하게 점검하고 있으나, 뾰족한 이유를 찾을 수 없어서 연락드립니다. 


하나, 진공 leak 대한 trouble shoot이 가능하신지. 
둘, 혹시, 오래된 챔버 seal용 O ring을 교체하려고 하는데, 기성 규격품이 아닐 듯 합니다. 
    귀사의 재고 중에 대응가능한 제품이 있는지 확인 부탁드립니다. 
    
    Groove 치수 내경 508 mm, 외경 521 mm(중심 514.5mm) 
  
 매우 긴급한 상황으로 대체 가능한 솔루션이 있으시면 제안도 부탁드립니다. 


감사합니다. 


전 동 민 드림